美国北德克萨斯大学Rick Reidy教授为我院师生做报告
2019-7-1

628日下午,正在我院为材料18级本科生上课的美国北德克萨斯大学Rick Reidy教授为材料学院师生做了“High Temperature Water Clean and Etch Reactions on SiO2, low-k and SiN Films: Experiments and Simulations”的学术报告。与此同时,他还分享了关于师生互动的教学经验。与会师生深受启发。

在电子薄膜领域中,湿法刻蚀通常采用氢氟酸或磷酸,由此会带来环境污染问题。利用水溶液在高温下对SiO2, low-k and SiN 薄膜的溶解作用,替代传统的酸刻蚀是一项很有意义的研究课题。实验发现,水在160 度以上对SiO2的溶解作用快速增加,而对low-k薄膜溶解作用较慢,采用分子动力学模拟了水与纳米多孔low-k的交互作用。比较了水和二氧化氘对SiN的溶解作用,表明温度的影响更大。从溶解速率而言,高温水可以达到氢氟酸或磷酸的效果。

结束学术报告以后,Rick Reidy教授分享了他在教学工作的经验。他以“Engagement, a tool to improve teaching”为题,介绍了他在学生期间,他的物理化学老师在他遇到学习困难时的耐心与爱护、鼓励,短短几句话影响了他的学术生涯。他指出,学生在遇到困难、寻求帮助需要克服羞耻与胆怯。此时老师的态度非常重要,如果学生感觉老师欢迎他/她,学生会敞开心扉跟你交流,并分享他/她以后的成功。他介绍了他自己增加与学生心灵交流的一些方法,记住学生的名字,学生分组学习,口头考试代替笔试,集体辅导,学前、学后以及长期考试等。

 

 
 
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